4月26日,在工业与信息化部、北京市人民政府主办,机械工业仪器仪表归纳技术经济研究所承办的“中关村论坛-高端仪器立异开展论坛”上,中科慧远“晶圆检测仪-碳化硅外表缺点查验测验设备”当选高端仪器十大首发产品。
会上,工业与信息化部副部长王江平与北京市政协副主席林抚生宣布致辞。来自国内外闻名院士专家以及有关省市工信主管部门、职业安排、企业、科研院所、高等院校、各范畴仪器仪表用户等单位450余名代表参与论坛。
此次中科慧远首发的碳化硅外表缺点查验测验设备,是针对化合物半导体工业加快速度进行开展的需求而研制的。该设备能够在必定程度上完结崩边、划伤、微管、包裹等近二十种半导体缺点的检测,填补了职业空白。其检测功率提升了数十倍,3分钟就能够完结整片检测,并主动输出查验测验报告。此外,该设备可搭载质量数据监控体系,对整个生产线大数据实时剖析,为工艺改进供给数据支撑及决议计划支撑。
中科慧远是国家级专精特新小伟人企业,公司致力于为客户供给工业外观检测设备与工业质量大数据解决方案。首发产品的露脸,不只展现了中科慧远在高端仪器范畴的最新科研成果,也显示了科技公司在自主立异道路上的坚决脚步和杰出成果。(完)
